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超精密平臺的關鍵技術及調試方法

發布時間:2019-07-31  發布者:億創量具

超進給平臺結構材料的選擇先要降低環境的影響,其次是提高進給平臺的動態性能。如現在日本已經開始大量應用工程陶瓷材料作為工作臺的結構材料,而不再是傳統的鋼材,殷鋼或花崗巖。因此迫切需要尋找一種新結構材料來降低對工作環境的要求,提高工作臺動態性能。

超進給平臺的關鍵技術包括:導軌技術、驅動技術、超測量技術、控制方法等。其中導軌技術是一項非常重要的基礎技術。目前空氣靜壓導軌因其精度高,清潔等特點,在已研制的超平臺中廣泛應用。而空氣靜壓導軌中,多孔質節流器以其承載能力大,剛度高等特點被廣泛應用,但國內對其理論分析,制造方法等研究較少,迫切需要進一步對其進行分析研究。空氣靜壓導軌由于氣膜小,大理石平臺對設計制造的要求較高,目前還沒有系統的設計方法指導其設計制造,因此迫切需要對其進行研究。

直線電機和旋轉伺服電機相比,伺服控制的難度大,要求高。直線電機在使用中存在各種擾動,由于沒有中間傳動環節,這些擾動會直接作用在運動部件上,需要解決使用何種控制方法能取得較好的控制效果。

因此本文主要從以下幾個方面展開研究:

1)超進給平臺的結構材料研究;

2)多孔質氣體潤滑技術研究;

3)空氣靜壓導軌設計方法研究;

4)直接驅動控制技術研究。

花崗石經長期時效,內應力消失,材質穩定,不會變形。那么花崗石機械構件有什么特點呢?又需要怎么維護呢?

花崗石機械構件的特點:

抗磨蝕,,維護。

物理性穩定,組織縝密,受撞擊晶粒脫落,表面不起毛邊,不影響其平面精度花崗石測量平板。

花崗石機械構件的工作表面在使用中保養維護簡便,材質穩定,能夠長期不變形,線膨脹系數小,機械精度高,防銹、防磁、絕緣。

不變形,硬度高,性強。

花崗石機械構件適用於現場的工作環境, 并高度恒久長期保有產品本身精度的特性,能確定工作環境中加工與檢測的精度與工作產品品質! 特別是用於的測量方面。

花崗石機械構件的維護:

避免花崗石機械構件受到撞擊,造成平臺的變形及損壞。工件的重量不可超過平板的額定載荷,否則會降低工作質量,還有可能損壞平板的結構,造成平板的變形,無法使用。要輕拿輕放。使用過程中。不要在平臺上挪動比較粗糙的工件,以免對平臺表面造成磕碰,劃傷等損壞。 做好使用工具的日常保養是每個行業應該都具備的一項基本素質,這樣既可以生產效率性,同時也可以提高器具的使用時間和壽命,提高它們的實際利用率。

大理石平臺誤差以及調試方法。

一、產生的誤差。

加工誤差:尺寸誤差;宏觀幾何形狀誤差;相互位置誤差;表面粗糙度。

公差:控制幾何參數的技術規定就稱";公差";,即為實際參數值所允許的較大變動量。

誤差在加工過程中產生,公差由設計人員確定。公差是誤差的較大允許值。

二、大理石平臺的調平步驟。

1、將大理石平臺平放于地面,手感調整四角穩定性,微調活動地腳,直到穩定。

2、將大理石平臺放置在支架上,調整其支點位置,盡量接近中心對稱。

3、初調各支腳,使各支點均勻受力。

4、用水平測量儀器,通常使用水平尺或電子水平儀檢測大理石平臺水平狀況、微調相關支點,直到符合水平位置。

5、初調合格后,靜置12小時后,進行復制,如不合格需進行再次調整,如合格方可使用。

6、大理石平臺使用后根據實際實地環境周期性檢測維護。


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